Kaufman Ion Source를 기반으로 개발된 DC Filament Emission Ion Source는

지성에프티의 독창적인 디자인으로

소스의 분해없이 Filament의 유지 보수가 가능하도록 고안된 신개념 이온소스입니다.

2 Grid의 이온빔 옵틱구조를 가지고 있으며

매우 쉬운 Grid Align 시스템을 장착하여 누구라도 쉽게 분해 조립이 가능합니다.

Anode Ion Source 또한,

지성에프티의 독창적인 디자인으로

소스의 분해없이 애노드와 캐소드의 분해 조립이 가능하며

기존의 Anode Ion Source에서 발생하는 파티클 오염 문제를 해결하여

파티클 오염이 없는 Reactive Deposition이 가능하고

기존  Anode Source 보다 향상된 High Flux Ion Beam을 구현하여

공정시간을 획기적으로 단축하였습니다.